纯度见微——iCAP MTX ICPMS 助力高纯铝痕量杂质精准检测

2026年09月04日 10:18:02来源：赛默飞世尔科技（中国）有限公司

　　背景

　　高纯铝，通常指纯度≥99.99%，甚至达到99.999%即“5N”的铝材料，由于其极低杂质含量，因此具有优异的导电导热性能、良好的延展性和化学稳定性，在许多领域具有不可替代的作用。其最核心的用途是用于电子与半导体行业，在集成电路与芯片制造中，高纯铝用作金属互连材料、制作电极、引线等。同时，铝表面能够形成致密且稳定的氧化膜，使其在高纯气体输送系统及半导体制造相关管路中具有良好的应用性能。

　　目前分析铝及铝合金中金属元素的标准为GB/T 20975，涉及的分析方法有火焰原子吸收光谱法、分光光度法和电感耦合等离子体发射光谱法，其中火焰原子吸收光谱法和分光光度法均为单元素测试方法，测试速度慢，分析效率低。电感耦合等离子体发射光谱法通常难以满足4N以上的高纯铝测试。因此，本研究采用电感耦合等离子体质谱法，结合三重四极杆质量筛选和灵活的碰撞/反应模式消除复杂质谱干扰，从而实现高纯铝中痕量杂质元素的准确测定。

　　赛默飞解决方案

　　仪器： Thermo Fisher iCAP MTX ICPMS

　　仪器参数

表1：仪器参数表

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　　标准曲线

　　各元素在0-50μg/L浓度范围内均呈现良好线性关系。空白溶液测试11次，以结果标准偏差SD的3倍作为仪器检出限，方法检测限为仪器检出限乘以总稀释倍数1000进行计算。结果显示，在常规实验室环境下，大多数痕量元素的方法检测限达到0.01 μg/g级别，表明iCAP MTX ICPMS在该类样品多元素分析中具有优异的灵敏度。

表2：元素/模式、相关系数、仪器检出限和方法检出限表

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　　样品加标结果

　　向样品溶液中加标2ppb进行加标测试，经计算，加标回收率在82.5-118.2%之间，验证了测试的准确性。

表3：样品加标回收率表

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　　iCAP MTX ICPMS优势

　　标配气体稀释系统和氩气加湿系统，市面上最严谨的耐高盐配置，有效应对高盐分和各种复杂样品的基体耐受性挑战；

　　智能基体处理技术，减少样品基质在锥口的沉积和系统污染，延长维护周期，提供出色的数据重现性；

　　智能透镜电压同步扫描技术，实现各质量区离子传输效率独立优化，提供很高的质谱灵敏度；

　　平板四极杆碰撞反应池的多种干扰去除模式，提供高可信度的数据结果；

　　结论

　　赛默飞提供最新的高纯铝测试方案，使用iCAP MTX Series ICPMS 能够准确测定高纯铝中多种痕量杂质元素，适用于高纯铝样品中痕量杂质的控制与分析检测。

关键词：气相色谱,液相色谱,离子色谱,质谱仪

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